熱屏技術聽起來是一門高大上的新技術,實際上,僅是在單晶爐內部增加一塊擋板,在爐內熱量向上流失過程中,靠著這塊擋板將熱量反射回爐內。
類比保溫瓶——想要更好保溫效果,自然是要避免瓶內的熱量流失,需要有更好的密封性,比如,瓶口加更厚的矽膠……雖然,單晶爐跟保溫杯的相差十萬八千里,但是,歸根結底,熱屏技術就是一項增強爐內保溫性能的技術。
歷史上,這項技術應用初期,美國的英特爾等等領先的半導體公司悄然採用了熱屏技術之後,卻是秘而不宣,悄悄的利用這種技術降低成本和增加產能。等到越來越多的廠商,心照不宣的採用這種技術之後,之後,英特爾等等公司才註冊了熱屏專利。
這項技術註冊專利之後,使得熱屏技術的擴散突然加快,因為,更多廠商知道了這個概念之後,先後都投入了資本研發相關的技術。
中國的半導體行業雖然被誤導了多年,但在2001年,北京有色金屬研究總院的研究人員屠海令、周旗鋼所率先的團隊在沒有熱屏樣品作為參照的前提下也成功的研發了國產的固定式熱屏。
實際上,美國英特爾等等公司雖然註冊了熱屏技術的初始專利,但絲毫不能阻止競爭對手紛紛採用類似的技術。
因為,這門技術實際上僅是一個創意,別人沒想到之前,是一個了不起創意,但等到這個創意被業界知道,僅需要知道熱屏這個名詞,就可以研發出類似的技術,最多是繞開已有的專利,需要費點事。
而且,即使百分之百抄襲,也很難被發現。畢竟,這種技術是廠商生產所用的技術,只要做好保密工作,阻止外界人士參看和取證,那麼,誰也不會知道其內部的生產設備,抄襲了別人的技術專利。
相對而言,專利保護法更容易受到保護是消費產品的相關專利,侵犯了專利的友商產品除非不上市,一旦上市,其專利侵權的部分肯定會被發現。
這項技術非常簡單,但是意義卻是非凡了。僅以能耗為例,6英寸裝料量60公斤的單晶爐為例平均能耗在120kwh,而採用了最原始的固定式熱屏技術,單晶爐的能耗輕易的降低到90kwh。而且,採用了熱屏的單晶爐,還能顯著提升單晶的生長速度,單晶的直徑尺寸和良品率也大幅度的提升。
而後來固定式熱屏技術的基礎上,還出現了更先進的移動熱屏,該技術直接把能耗進一步降低,原本能耗120kwh的單晶爐,能耗進一步降低到了60kwh!
後世的半導體行業爆產能,熱屏技術也做出了突出的貢獻。後世的電子產品的消費者,實際上,也是單晶爐熱屏技術的受益者。
……
1986年7月,蒙欣率領下單晶爐熱屏技術,迅速從理論變成實際的產品。
這項成果本質上並不是太難,成本也不是很高。在成本大概5000多塊錢的國產單晶爐裡面,增加一個固定的組合件。大致上,僅需要不到1萬元成本就可以將一台單晶爐改造成有固定熱屏的新式單晶爐。
而目前進口的單晶爐,成本不低於1萬美元一台,比國產的單晶爐更貴情況下,性能遠遠不如這種新式帶熱屏的單晶爐。
這種一萬美元一台的設備,實際上頂多用3~5次就報廢,需要更換新的單晶爐。當然了,國外有壽命更長的單晶爐,能用十次左右,但卻是禁止對中國出口的。幾十年後單晶爐壽命則是輕易的達到上百爐甚至更長久的壽命。當然了,配合熱屏技術的話,晶圓生產的成本和效率,將達到80年代的半導體廠商難以想像的程度。
當然了,使用壽命更長的單晶爐,這則涉及到更複雜的材料學,並不是簡單的弄出一份設計圖紙就能搞出來。
「這個技術很厲害?」林棋畢竟不是理工狗,所以只知道cpu、顯卡、內存、硬盤、顯示面板等等普通消費者看見的摸得著的東西。
還有就是最複雜的光刻機,由於晶片加工都需要光刻機,光刻機也是晶圓加工工業中,最昂貴的設備。集成電路能集成多少電晶體,主要取決於光刻機的精度。所以,即使是小白,都知道光刻機非常關鍵!
相對於高大上的光刻機而言,單晶爐就顯得很土鱉,很少有外行人關注單晶爐技術的發展。
「當然厲害了!決定晶片性能和產能的,不僅僅是光刻機,晶圓的產能和質量,也是非常關鍵和重要的技術。」蒙欣微笑說道,「僅憑著這項技術,至少可以給你的晶片節省30%的成本!品質更高的晶圓,也會讓晶片加工的良品率更高、性能更好!其實短期內,光刻機的技術沒取得突破,僅憑著單晶爐的技術突破,就足以讓晶片產能、性能、成本等等指標,都獲得大幅度的提升!」
「這麼厲害!」林棋不僅感覺到驚訝。
「當然!換做是聽你的,頭疼醫頭,腳痛醫腳,即使我現在就幫你改進光刻機技術,保守估計也需要一年以上時間,才能有成效。」蒙欣說道,「而且,我現在去給你研發2~1.5微米的光刻機,屬於嚴重浪費寶貴的科研資源。跟在國際廠商後面模仿,你們現在的團隊就可以了。我的團隊,直接從1微米起步,研發投影式光刻機!我參觀了新創業半導體和驪山半導體的工廠,都是接近式光刻機,70年代的技術,現在是主流。但是技術升級潛力有限,所以,很快就會被投影曝光式光刻機所替代!」
林棋點了點頭,知道技術上蒙欣比自己強無數倍。
有未來技術資料作為參考的蒙欣,可能是世界上最厲害的技術大牛。
業內人士剛有一個初步的想法,她已經清晰的了解未來的技術發展趨勢,很多現在是機密的技術,在未來已經是能公開的資料。
……
7月份,林棋強行的推廣之下,新創業半導體公司開始正式大規模的推廣熱屏單晶爐。
雖然,一開始有些技術人員比較固執,覺得貿然採用一種從來沒聽過的技術有點冒險。
但是僅僅過了一周之後,反對聲徹底消失了。
誰反對,生產線上的一線技術人員會敲爆他們的狗頭!
因為,熱屏技術的好處,那是立竿見影的!
採用了熱屏技術的單晶爐,不僅僅節約25%的電費,而且,單晶棒的直徑、長度都遠遠超過預期。原本用來實驗的是4英寸的單晶爐,這種單晶爐生產出來的晶圓直徑應該在101.6毫米,但實際上,生產出來的晶圓直徑居然達到117毫米,雖然沒達到6英寸,但也算是4.5英寸級!
晶圓直接更大,不僅僅是原材料產能增加的問題,更關鍵的是,相對於4英寸的晶圓而言,更大直徑的晶圓加工出來的晶片的良品率也會更高。
貌似,目前國際市場上6英寸的單晶爐也是禁止對中國出口的,原本4英寸的單晶爐也需要進口。只不過,新創業電子的異軍突起,促進了國產半導體產業的發展,像單晶爐這種設備屬於用幾次就要更換的消耗品,用國產的自然是更便宜。而因為有新創業電子的訂單,所以,國內有足夠的動力把4英寸單晶爐技術搞成白菜價。
但是6英寸的單晶爐,目前技術上還存在一定難度。至少要幾年功夫,才能做到國產化。然而……熱屏技術讓4英寸的單晶爐居然升級成了4.5英寸的單晶爐。技術人員自然感覺到非常激動,因為,原本6英寸的單晶爐的技術門檻,可能已經因為熱屏技術被輕易捅破了!
而能量產6英寸晶圓,不僅僅民用電子產品會受益,而且航天、軍工、科研等等方面,也能因為更高品質的晶圓材料而受益!
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