科技公司，我成國產之光！ 第二百七十一章 成功了！光刻工廠實現了！

    3納米極紫外光？

    檢測光束設備給出的數據反饋讓所有人大吃一驚，3納米的極紫外光束，這豈不是說他們即將具備製造3納米晶片的條件？

    眾所周知，在不考慮《多重曝光技術》的情況下，想要刻出幾納米級的晶片，就要先製造出多少納米的紫外光光源。

    193納米的深紫外光還好說，大自然裡面也能找得到，但13.5納米及以下的極紫外光，那就必須由人為創造。

    深紫外光和極紫外光，和分別對應了DUV光刻機和EUV光刻機，後者現在還處于禁止出口龍國的設備清單裡面。

    一旦這束光源被證實，確實是可以運用於光刻的極紫外光，那麼整個晶片行業都將被顛覆。

    「真是3納米嗎？」

    夏揚神色激動，向前一步。

    他大學雖然學的不是半導體，但這並不代表他不懂晶片製造。

    想要光刻14納米晶片，就要製造13.5納米波長的極紫外光，這在各種半導體諮詢媒體鋪天蓋地宣傳下，早已經人盡皆知。

    3納米波長？

    豈不是能刻3納米晶片？

    雷兵也忍不住上前一步，詢問道：「這束光能用嗎？如果能用是不是意味著我們能造3納米晶片了？」

    現在主流晶片是14納米，無論是龍興科技的SOC上帝晶片，還是蘋果公司的A9s仿生晶片，亦或者說是髙通公司剛剛推出的驍龍821晶片，它們都是14納米製程，根本夠不著3納米的邊邊。

    要是真能造3納米晶片，那可不是小小的科技震撼，而是向整個半導體晶片行業扔了個蘑菇彈，要顛覆整個行業的事情了。

    「不能這樣說。」

    陳星從震撼中回過神，給雷兵與夏揚講解道：「具備光源還不夠，如果真要造3納米晶片，我們還要經歷晶片設計與研製光刻膠。」

    在半導體領域，可不僅僅光刻機和紫外光有納米等級，光刻膠同樣有納米等級區分。

    像目前龍興化工研製的1號光刻膠，它的曝光波長就在193納米，最高支持7納米晶片製造，這還是有多重曝光技術加持的情況下。

    想要製造出3納米晶片，3納米極紫外光、3納米晶片電路設計、3納米曝光波長光刻膠缺一不可，這也是為什麼，晶片納米等級推進緩慢的原因。

    每推進一步，都需要各行業跟進，一旦說光刻膠不行，那有極紫外光和電路設計圖也沒用。

    正因為技術門檻高，大洋彼岸才能用晶片做文章。

    「總裁說得沒錯。」林天也給予了肯定，他回頭看向兩位局長道：「現在說3納米晶片還為時過早，不過我們可以先試試這13.5納米波長的極紫外光，看看它能不能滿足晶片生產需求。」

    「這句話在理。」

    「確實是我們操之過急了。」

    雷兵和夏揚點了點頭。

    他們屬於是懂一點，但並不知道半導體晶片領域可不僅僅只有極紫外光，還有N多的細枝末節，只有全部攻克才能造出晶片。

    「趁著天沒亮，我們儘快測試光束的可行性吧。」陳星提醒一句。

    他們現在可是關了全深城的電力供應，哪怕是凌晨4點鐘，但依然會對城市造成影響。

    「我馬上操作。」

    林天點了點頭回應道。

    剛說完，他立馬看向設備操控台，開始輸入指令，時不時還跑到一側去操作。

    光刻工廠不同於光刻機，它更像是一條完整的自動化流水線，只需要裝填半導體矽片以及光刻膠與配套試劑，輸入指令後就可以進行自動化生產。

    林天在檢驗了十幾束13.5納米波長的極紫外光後，也發現了單色性最好的一條光束，將它設定為1號光刻區域。

    又經過了十分鐘的參數調試，排除外故障情況，林天輸入了確定工作的指令。

    下一秒。

    運輸裝置自動取片。

    存放在特定區域的半導體矽片被靜電吸盤吸起，運送到清洗區域，洗掉附著在半導體矽片表面的灰塵和雜質。

    在清洗完成以後，半導體矽片會通過特殊運輸通道，運往下一個步驟進行烘烤，待半導體矽片徹底乾燥將繼續運往下一個步驟，塗抹光刻膠。

    自動取片。

    自動清洗。

    自動塗膠。

    自動光刻。

    這就是光刻工廠，亦或者說光刻全自動工廠。

    兩塊光掩膜版已經重疊，他們在特定

    這也是為什麼第一期的光刻工廠只有5000平的原因，因為建造太大也沒用，像靜電吸盤和各類自動化運輸的設備，都是需要定製化購買的，關鍵有些設備國內還沒有，比如靜電吸盤設備。

    第一期相當於測試，等測試通過就可以擴建二期、三期甚至是第四期的光刻工廠。

    當然了。

    前提是可以能光刻成功。

    「我們沒有單獨完整的SOC上帝晶片光掩膜版，只能用兩塊陰陽掩膜版堆疊在一塊形成完整圖案，這又會出現個問題。」

    林天喃喃自語。

    像似給陳星幾人解釋，又像似說給自己聽。

    「那就是兩塊光掩膜版堆疊，兩塊透明基板會削弱極紫外光能量，導致光刻失敗。」

    「為了解決這個問題，我加大了粒子加速器的功率，讓電子運動的速度再次增加。」

    「理論上來說，運行功率的加大，會同步放大電子運動的速度，電子在環形存儲器的速度越快，輻射出的極紫外光能量就越強，但我並不能確定這個數值是不是正確的，只能說理論可行。」

    光刻工廠沒有人測試過，誰也不知道行不行。

    現在又因為光掩膜版限制，林天只能加大功率，這給測試又增添了不小的難度。

    「試試就知道了。」

    陳星默默舉起手機拍攝。

    雖然他們在操控室，但面前的屏幕有顯示潔淨室的畫面，根本不需要親自前往。

    林天微微頷首，沒有說話，他雙眸注視著監控畫面，神色也顯得格外緊張。

    烘乾冷卻，塗滿光刻膠的半導體矽片已經被運往了光刻區域，只剩下最後的光刻步驟。

    隨著透鏡組移動到指定位置，13.5納米波長的極紫外光發生了折射，精準地照射在兩塊圖案互補的光掩膜版上，而光掩膜版上面的完整圖案被照射後，最終落到待曝光的半導體矽片表面。

    「滋——」

    ArF光刻膠遇到光源，內部開始發生化學反應。

    而ArF光刻膠又分正膠和反膠，這次曝光用的是正膠，被曝光區域的光刻膠會發生化學反應，沒曝光區域則不受到影響。

    一塊區域被曝光後，透鏡組立馬移動，側開照射光源，待移動平台調整後繼續移回正位，對下一個區域進行光刻曝光。

    12寸半導體矽片，大概能產出232塊1.6×1.6的成品裸片，也就是說需要曝光232次。

    目前來說，曝光一次的速度大概在1秒，這就需要232秒，也就是差不多4分鐘才能把一張半導體矽片全部曝光完成。

    雖然這個速度相比較於光刻機慢了差不多一倍，可光刻工廠畢竟是國產自研，而且是第一代產物，後續透鏡組和移動平台還能繼續優化，追趕上光刻機的光刻速度不是不可能的。

    在等待了四分鐘後，林天看向陳星等人解釋道：「考慮到兩塊光掩膜版的能量消耗，我們先不急著拿去顯影，讓半導體矽片再次加熱，加劇光刻膠的化學反應。」

    陳星、雷兵、夏揚微微頷首，都在等待著結果。

    現在這裡陳星算半個門外漢，雷兵、夏揚則是都是門外漢，只能聽林天安排。

    他別說拿去烤了，哪怕是燒，他們也會覺得很合理。

    隨著林天輸入指令，本該送去顯影的半導體矽片被傳送去了烘烤區域，進行二次加熱，加劇ArF光刻膠內部的化學反應。

    當這步完成以後，半導體矽片再次被運輸，它來到了顯影區域。

    先用去離子水潤濕矽片，緊接著把矽片放在顯影平台，上方的機器設備噴出顯影液，均勻地撒在半導體矽片表面，進一步溶解被曝光的部分區域。

    隨著這個步驟完成，半導體矽片表面已經清晰可見電路圖案，只差最後的沖洗，將未曝光部分黏著的光刻膠全部清洗掉。

    「我好像看見圖案了。」

    雷兵瞪大雙眼，不敢錯過任何一絲的細節。

    「我也看見了。」夏揚附和道。

    剛才半導體矽片清洗拿出時，可以清晰看見矽片表面密密麻麻的電路圖案。

    「有電路圖案是好事，但還需要經過電路測試才能知道晶片能不能正常運行。」

    陳星講解道。

    經過了開天晶片、輕舟晶片、SOC上帝晶片多次耳濡目染，他已經算半個行內人了。

    曝光、蝕刻、顯影、清洗他都略懂一二，當然了，只是略懂，還停留在理論知識層面。

    不過縱使是這樣，雷兵還是忍不住豎起拇指稱讚道：「想不到陳總不僅在商業領域有所建樹，原來在晶片領域也有自己獨到的見解。」

    「確實想不到。」

    夏揚也附和一聲。

    本以為陳星什麼也不懂，沒想到人家出口成章，這讓他們都感到了一絲意外。

    聽著兩人稱讚，陳星也幾位謙虛道：「不算是見解，只是耳濡目染多了記下的知識點。」

    「能記下也是個本事。」

    雷兵笑道。

    夏揚也點了點頭，附和道：「沒錯，記憶力不好的想記也記不住，陳總能記住這些流程，足以見得龍興科技深耕晶片的赤子之心。」

    在兩人一唱一和拍陳星馬屁的同時，全自動化的生產線已經把顯影后的半導體矽片送去切片，進行最終電路測試。

    林天看著「檢測中」的提示，看向陳星說道：「如果可以通過，二期光刻工廠就可以開工了，不過能源還是個問題…」

    他目光看向夏揚。

    後者立馬會意，連忙說道：「陳總、林首席你們放心好了，只要證實光刻工廠可行，天一亮我就回去召開市級會議，主題就是建設你們的能源輸送通道。」

    「沒錯。」

    雷兵附和一句，繼續說道：「別的地方不敢保證，但在深城，夏局還是可以說上兩句話的。」

    「包在我身上。」

    夏揚拍了拍胸口。

    他們都是混體制的，當然明白國家目前的主推方向。

    要是能協助龍興科技完成光刻工廠的建設，那他們所有人說不定都可以往上走兩步。

    體制內，誰不想進步？

    有進步的機會，他們可不會放過，更何況是涉及「晶片」的。

    「我先謝謝兩位的好意，不過…」陳星猶豫了一會，還是決定說出宋衛國承諾的「東電南調」計劃道：

    「就如果說光刻工廠證實可以產出晶片，我希望深城電力局多建設拋狗嶺地區的電力傳輸系統，保障電力輸送，至於電力的話，奉天軍區的宋首長說過，近期會有個東電南調文件下達。」

    雷兵：「？？？」

    夏揚：「！！！」

    這句話說出那刻，雷兵滿腦子都是問號。

    奉天軍區？

    這不是隸屬於北部戰區的嗎？

    你陳星不和南部戰區打交道，跑去北部戰區了？

    身旁的夏揚則是驚訝到懵逼，東電南調文件，這不是剛剛下達的全國性絕密文件嗎？

    難不成…

    它是專門支撐光刻工廠的？？

    想通了！

    夏揚終於想通了！

    他就說怎麼這麼奇怪，明明東部地區用的是國家電網，而深城用的是南方電網，怎麼會突然輸送電力過來，深城也不缺電啊。

    原來是專門支持龍興科技建設光刻工廠的，這也就是說，上邊其實已經是知道的了。

    「咕嚕——」

    夏揚咽了口唾沫。

    他看向陳星的目光，已經帶了幾分敬畏，這個不到三十的青年掌握的能量超乎了他的想像。

    如果可以的話，他真想在陳星耳畔輕聲說一句：「陳總，我夏揚太想進步了。」

    就在雷兵和夏揚內心掀起驚濤駭浪，震驚到大腦空白時，林天突然打斷了他們道：「裸片電路的檢測結果出來了。」

    陳星：「！！！」

    雷兵：「！！！」

    夏揚：「！！！」

    三人立馬側目，順著林天目光注視的方向看去，上面赫然寫著「電路未檢測出異常」八個大字，最左側的屏幕，還有SOC上帝晶片的全部數據參數，包括納米等級，微架構與運行功率。

    在一一進行比對後，林天神色激動地看向陳星等人宣布道：「成功了！光刻工廠實現了！」

    (本章完)

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