劉焱當初投資研發光刻機,本來就沒想過依靠它盈利,量產型號的光刻機,對外售價只有百萬人民幣。
這個價格只有國外同類產品的三分之一左右,可謂是物美價廉。
可惜這年月,內地的晶圓工廠大多不成氣候,後續訂單就算有,也不會有太多。
好在維創電子公司自己就有晶圓工廠,且盈利豐厚,只要自產光刻機能完美替代進口產品,且能跟隨摩爾定律不斷升級進化,花再多的研發資金也是值得。
表彰大會之後,劉焱召集全體光刻機研發室實驗室成員,召開了一個研討會,對下一步的研發計劃和研發方向進行了部署。
在研討會上,劉焱代表維創電子公司率先發言,說道:
「一微米光刻機已經研發成功,並定型量產,在座的諸位功不可沒。
但這一切都已經是過去式,接下來,咱們要在一微米光刻機的基礎上,再接再厲,研發0.5微米製程的光刻機。
我代表維創電子公司表個態,不管研發過程中遭遇怎樣的困難,需要投入幾億,十幾億,甚至幾十億的研發資金,我們維創電子也在所不惜。
接下來,有請廉教授就下一代光刻機研發計劃,做一下總體規劃。」
廉安平教授拿出一份手寫的稿子,清了清嗓子說道:
「當初劉老闆提供的光刻機研發資料中,有一份0.5微米光刻機研發概要,點明了幾個研發要點,包括光源,透鏡系統,雙工台,掩模台等等。
其中雙工台、掩膜台、控制系統、晶圓傳輸系統,可以通過一微米光刻機的相關部件進行升級改造達成,難度不是太大。
但為了達到0.5微米的加工精度,光源系統和透鏡系統需要重新設計,重新打造,這個難度不是一般的大。」
烏光輝跟著發言道:
「我是搞雷射技術出身,在光刻機光源方面有一定研究。光刻解析度想要達到0.5微米,光源波長需要達到365nm以下,且對光源強度和均勻度都有非常嚴格的要求。咱們在一微米光刻機上使用的高壓汞燈,理論上其極限能達0.35微米的加工精度,但需要對其結構進行徹底的改造,且越是接近極限,越難以達成。
而被業界普遍認定是下一代光刻機光源的KrF(氟化氪)準分子雷射,光源波長為248nm,可以使最小工藝節點提升至350-180nm水平。當今世界上,很多雷射相關的研究所,都在對準分子雷射進行研發,進度參差不齊,達到實用水平的,一個都沒有。
我的建議是,在光刻機光源方面,兩種線路同時研發,哪個率先取得突破,下一代0.5微米光刻機上,就使用哪一種光源。」
一位光學方面的專家發言道:
「光源波長越短,傳播過程中越容易被透鏡吸收。下一代0.5微米光刻機,如果依舊使用高壓汞燈當光源,使用現在的透鏡組合就足夠了,頂多加工精度再提高一些。
如果使用準分子雷射做光源,透鏡系統就需要推倒重做,組合里至少增加兩枚玻璃透鏡,參數也要重新設計,還有鍍膜材質也要重新開發。
這方面研究需要儘快提上日程,如果開發新透鏡組合,需要的計算量非常的大,使用普通計算機計算,需要的時間會非常長,我建議咱們使用ARM1晶片,組裝一台超級計算機出來。」
一位深鎮大學教計算機的教授,推了推眼鏡出聲道:
「超級計算機確實是個好東西,咱們很多研發中的項目涉及到大量數據計算和模擬測試,如果咱們實驗室有一台超級計算機,可以把研發速度提高很多。
維創電子公司晶圓工廠出產的ARM1晶片,是世界上第一款精簡指令集晶片,以10萬電晶體數量,提供了遠超晶片的性能,在功耗上,也只有後者的三分之一左右,是製作超級計算機的最優晶片。
只是超算並不是單純的堆疊晶片,還涉及到並行計算、指令分發、數據交互、大量數據存儲、高效率散熱等等技術,咱們這邊根本沒有相關人才,想要自己研發超級計算機難上加難。」
接下來,光刻機研發小組的成員,各抒己見,給下一代0.5微米光刻機的研發,提供了很多的好思路。
最後,劉焱做了總結髮言,說道:
「大家說的很好,0.5微米光刻機的研發工作就拜託大家了。我們維創電子公司會先期投資10億,作為研發資金,如果需要某些先進設備,或稀有原材料,打報告上來,我會想辦法,從國外採購。
超級計算機的事情先不要著急,據我所知,GFKJ大學計算機研究所目前正在進行國內第一台巨型機的研發,咱們可以跟那邊聯繫一下,將咱們的ARM1晶片提供過去,看看雙方能不能達成合作。
另外晶片生產線上除了已經被咱們攻克的光刻機,還有刻蝕機,清洗機,離子注入機,單晶爐,晶圓劃片機等等設備,這些都需要咱們去光產化。
這些設備只靠維創電子公司、深鎮大學、和Z科院,三家的科研力量進行研發,還是力有未逮。咱們還需要聯繫一些國內相關的科研院所和工廠,進行合作研發。」
會議過後,劉焱通過中科院的關係,聯繫上了GFKJ大學計算機研究所,了解了一下即將研發完成的「YH1號」巨型計算機。
這才知道八十年代的超算和後世的超算,完全不是一種東西。
就拿「YH1號」來說,它仿製於米國的cray-1巨型計算機,使用的計算晶片並不是、ARM1這類大規模集成電路晶片,而是數十萬顆普通集成電路晶片。具體構造也不是後世的大規模並行處理結構,而是老舊的向量機。
而且YH1號的計算能力只有每秒1億次多一點,還不如後世的一枚普通手機晶片,性能著實有限。即使如此,劉焱還是花上千萬港幣,訂購了一台YH1號巨型機,用於輔助光刻機研發。
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